dalam layanan satu atap
Gas Newtek menyajikan sistem pembuatan oksigen PSA (adsorpsi swing tekanan) yang dipotong secara khusus direkayasa untuk lingkungan manufaktur semikonduktor. Solusi modular ini memberikan oksigen kemurnian ultra-tinggi 99,5% dengan laju aliran mulai dari 5-3000 nm³/h, menampilkan kemampuan integrasi cerdas untuk operasi ruang bersih.
Keuntungan teknis inti
Dual-column 13X molecular sieve system achieves >99,999% o₂ kemurnian
± 0. Stabilitas konsentrasi 5% melalui analisis gas laser waktu nyata
0. 1μm filtrasi multi-tahap (HEPA+ULPA) memastikan kepatuhan ISO kelas 3
- 30% konsumsi daya lebih rendah dari sistem konvensional
- Sistem pemulihan panas mengurangi beban termal di lingkungan yang luar biasa
- <65dB(A) noise level with acoustic enclosure option
Desain skid-mount yang dapat diskalakan mendukung 20% -200% ekspansi kapasitas
Unit Kompresi Udara (Teknologi Gulir Bebas Minyak)
Menara Pemurnian (Penghapusan Kelembaban TSA Otomatis)
Kabinet Kontrol Cerdas (PLC+HMI dengan Secs/Protokol Permata)
Aplikasi proses semikonduktor
✔ Oksidasi termal
Presisi O₂ Pasokan untuk Pertumbuhan Gerbang Oksida (2-200 Å Kontrol Ketebalan)
✔ etsa kering
Pasokan gas yang stabil plasma untuk pola skala nano
✔ Pembersihan Kamar CVD
Oksigen ultra kering untuk pencegahan kontaminasi partikel
✔ Annealing wafer
Kontrol atmosfer kemurnian tinggi untuk aktivasi dopan
Sistem Pemantauan Cerdas
Pemantauan Pengotor Waktu Nyata (Deteksi Level PPB)
Pemeliharaan prediktif dengan algoritma AI (akurasi 98%)
Diagnostik jarak jauh melalui platform IIOT (OPC UA/MTConnect)
Semi f 5-0202 standar gas bersih
Sertifikasi Keamanan Listrik CE/UL/ETL
Iso 14644-1 Kompatibilitas Cleanroom Kelas 3
kami menyediakan
▲ Jaringan Teknis Global:24/7 dukungan multibahasa dengan<4hr response time
▲ Program Optimasi Seumur Hidup:Audit Efisiensi Tahunan dan Layanan Penggantian Saringan Molekul (1- garansi tahun)
▲Solusi Kustom:Integrasi yang disesuaikan dengan sistem AMHS/MMC
dan desain sistem pemulihan gas
Hubungi pakar gas semikonduktor kami
📞 + 8615336587300
📧 sales@newtekgas.com
🌐 www.newtekgas.com
Tag populer: generator oksigen untuk semikonduktor, generator oksigen china untuk produsen semikonduktor, pemasok
